江苏铜蚀刻液剥离液 和谐共赢 苏州博洋化学供应

    所述硫脲类缓蚀剂包括硫脲、苯基硫脲或月桂酰基硫脲中的一种。具体的，所述聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂为聚氧乙烯聚氧丙烯单丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚，江苏铜蚀刻液剥离液、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一种。采用上述技术方案，本发明技术方案的有益效果是：本用于叠层晶圆的光刻胶剥离液具有较快的剥离速度，对金属的腐蚀率低，而且使用寿命长。具体实施方式本发明涉及一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液，配方包括10～20wt％二甲基亚砜，江苏铜蚀刻液剥离液，10～20wt％一乙醇胺，5～11wt％四甲基氢氧化铵，～1wt％硫脲类缓蚀剂和～2wt％聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂，5～15wt％n-甲基吡咯烷酮和余量的去离子水。聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂因为分子中的醚键不易被酸，江苏铜蚀刻液剥离液、碱破坏，所以稳定性较高，水溶性较好，耐电解质，易于生物降解，泡沫小。硫脲类缓蚀剂呈现弱碱性，所以在酸性介质中能够起到缓蚀的效果，另外与聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂和n-甲基吡咯烷酮配合可以起到提高处理量的作用。下面结合具体实施例对本发明作进一步详细说明。上海和辉光电用的哪家的剥离液？江苏铜蚀刻液剥离液

    这些溶纤剂可以使用1种或组合使用2种以上。本发明剥离液中的溶纤剂的含量没有特别限定，例如，推荐～，更推荐～，特别推荐～。本发明剥离液中，为了抑制对金属的浸蚀性，推荐还含有硅酸盐。硅酸盐没有特别限定，例如，可以举出硅酸钾、硅酸钠等。这些之中推荐硅酸钾。本发明剥离液中的硅酸盐的含量没有特别限定，例如，推荐～，更推荐～，特别推荐～。需要说明的是，本发明剥离液中，推荐*由上述成分构成，但只要不阻碍本发明的效果，可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡剂等其它成分。以上说明的本发明剥离液可以通过将上述成分溶于水中来制备。需要说明的是，本发明剥离液的ph若为碱性则没有特别限定，但通常**将上述成分溶于水就成为碱性，因此没有特别必要调整ph。另外，本发明剥离液可以通过将上述成分分别分开预先溶于水，成为抗蚀剂的剥离液套件，将它们混合来制备。具体来说，可以举出以包含含有钾盐的第1液和含有溶纤剂的第2液为特征的抗蚀剂的剥离液套件、其中还包含含有硅酸盐的第3液的抗蚀剂的剥离液套件、进而在其中使上述其它成分适当含有于各液中的抗蚀剂的剥离液套件等。通过使用本发明剥离液对施加有抗蚀剂的基材进行处理，抗蚀剂被细小地粉碎。浙江配方剥离液订做价格剥离液适用于哪些行业。

    本申请涉及半导体工艺技术领域，具体涉及一种剥离液机台及其工作方法。背景技术：剥离(lift-off)工艺通常用于薄膜晶体管(thinfilmtransistor)制程中的光罩缩减，lift-off先形成光阻并图案化，再在光阻上成膜，移除光阻的同时，沉积在光阻上的膜层也被剥离，从而完成膜层的图形化，通过该制程可以实现两次光刻合并为一次以达到光罩缩减的目的。现有技术中，由于光阻上沉积了薄膜(该薄膜材料可以为金属，ito(氧化铟锡)等用于制备tft的膜层)，在剥离光阻的同时薄膜碎屑被带入剥离液(stripper)中，大量的薄膜碎屑将会导致剥离液机台中的过滤器(filter)堵塞，从而导致机台无法使用，并且需要停止所有剥离液机台的工作，待将filter清理后再次启动，降低了生产效率。技术实现要素：本申请实施例提供一种剥离液机台及其工作方法，可以提高生产效率。本申请实施例提供一种剥离液机台，包括：依次顺序排列的多级腔室、每一级所述腔室对应连接一存储箱；过滤器，所述过滤器的一端设置通过***管道与当前级腔室对应的存储箱连接，所述过滤器的另一端通过第二管道与下一级腔室连接；其中，至少在所述***管道或所述第二管道上设置有阀门开关。在一些实施例中。

    其包含含有钾盐的第1液、和含有溶纤剂的第2液。再者，本发明涉及印刷布线板、半导体基板、平板显示器或引线框的制造方法，其特征在于，在包括从施加有抗蚀剂的基材除去抗蚀剂的工序的印刷布线板、半导体基板、平板显示器或引线框的制造方法中，使用上述抗蚀剂的剥离液进行抗蚀剂的除去。发明效果本发明的抗蚀剂的剥离液即使是微细的布线间的抗蚀剂也能细小地粉碎。因此，本发明的抗蚀剂的剥离液适合于包括从施加有抗蚀剂的基材除去抗蚀剂的工序的印刷布线板、半导体基板、平板显示器或引线框的制造方法。具体实施方式本发明的抗蚀剂的剥离液(以下，称为“本发明剥离液”)含有氢氧化钾和溶纤剂。本发明剥离液中的钾盐没有特别限定，例如，可以举出氢氧化钾、碳酸钾等。需要说明的是，钾盐中不含相当于后述的硅酸盐的硅酸钾。这些之中推荐氢氧化钾。另外，本发明剥离液中的钾盐的含量没有特别限定，例如，推荐，更推荐，特别推荐。本发明剥离液中使用的溶纤剂是指乙二醇的醚类，例如，可以举出异丙基溶纤剂、丁基溶纤剂、二甲基溶纤剂、苯基丁基溶纤剂、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、苯基溶纤剂、苄基溶纤剂、卡必醇溶纤剂、二乙基溶纤剂等。这些之中推荐异丙基溶纤剂。另外。苏州性价比高的剥离液。

    能够除去抗蚀剂。用本发明剥离液处理施加有抗蚀剂的基材的条件没有特别限定，例如，可以举出在设为10～80℃的本发明剥离液中浸渍基材1～60分钟左右的条件、将设为10～80℃的本发明剥离液向基材喷雾1～60分钟左右的条件。需要说明的是，浸渍时，可以摇动基材，或对本发明剥离液施加超声波。抗蚀剂的种类没有特别限定，可以是例如干膜抗蚀剂、液体抗蚀剂等中的任一种。干膜抗蚀剂的种类也没有特别限定，例如推荐碱可溶型的干膜抗蚀剂。作为这样的碱可溶型的干膜抗蚀剂，例如，可以举出rd-1225(sap用25μm厚)(日立化成株式会社制)等。施加抗蚀剂的基材没有特别限定，例如，可以举出印刷布线板、半导体基板、平板显示器、引线框中使用的各种金属、合金所形成的、薄膜、基板、部件等。按照上述方式本发明剥离液能够从施加有抗蚀剂的基材除去抗蚀剂，因此能够在包括除去这样的抗蚀剂的工序的印刷布线板、半导体基板、平板显示器、引线框等的制造方法中使用。上述制造方法之中推荐包括从施加有抗蚀剂的基材除去抗蚀剂的工序的印刷布线板的制造方法，特别推荐基于半加成法的印刷布线板的制造方法。本发明剥离液能够除去的线/间距(l/s)没有特别限定。苏州口碑好的剥离液公司。江苏铜蚀刻液剥离液

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微电子化学品***适用于先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB行业。类别品名英文名等级ELMOSUP溶剂类甲醇Methanol■  甲苯Toluene■  无水乙醇Ethanol■■  ■ 异丙醇IPA■■■**Acetone■■■N-甲基吡咯烷酮1-Methyl-2-pyrrolidinone■  ■ ■丙二醇甲醚PGME■  ■ ■丙二醇甲醚醋酸酯PGMEA■  ■ ■酸碱类硫酸Sulfuric Acid■■■盐酸Hydrochloric Acid■■ 硝酸Nitric Acid■■■氢氟酸Hydrofluoric Acid■■■磷酸Phosphoric Acid■■ 冰乙酸Acetic Acid,Glacial■■■过氧化氢Hydrogen Peroxide■■■氟化铵Ammonium Fluoride■■■氨水Ammonium Hydroxide■■■氢氧化钾Potassium Hydroxide Liquid■  氢氧化钠Sodium Hydroxide Liquid■  功能化学品铜蚀刻液Copper Etchant■  铝蚀刻液Aluminum Etchants■  BOE蚀刻液Amnonium Fluoride Etchants■■■ITO蚀刻液ITO Etchant■  IGZO蚀刻液IGZO  Etchant■  光刻胶剥离液（有机） Photoresist Stripper (Solvent)■  光刻胶剥离液（水系）Photoresist Stripper (Aqueous) ■  玻璃减薄液Glass Thinning Liquid■  玻璃清洗液Glass cleaning solution■  光刻胶显影液Photoresist Developer■■■玻璃切削液Glass cutting fluid■  化学研磨液Chemical grinding fluid■  江苏铜蚀刻液剥离液

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